半导体设备是半导体工业的柱石，也是国内半导体工业最为单薄的环节之一。跟着集成电路工业，特别是新式芯片和先进工艺的产能扩张为半导体设备职业带来了宽广的商场空间。值此半导体工业迸发之际，国产半导体设备商敞开IPO之路，以期征集资金进步技能实力并扩张产能。近来，计算了2022年半导体设备企业的IPO状况，以飨读者。

  2022年3月3日，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称：微导纳米）再度闯关科创版。微导纳米此前两次冲刺A股上市均无疾而终，尔后更换了教导组织。微导纳米把握ALD中心技能，此前面对相关买卖质疑，以及专利纷争。

  撤回IPO请求一年之后，微导纳米整装再动身，以全新股东阵型冲刺科创板，25名股东中不只包含11家私募基金股东，其间更不乏君联本钱、高瓴出资等明星组织的身影。拟募资规划也进步了1倍，由前次的5亿元调至10亿元，首要用于依据原子层堆积技能的光伏及柔性电子设备扩产晋级、集成电路高端配备工业化运用中心等项目和弥补流动资金。其间，弥补流动资金估计金额为1.5亿元。

  2022年12月23日, 微导纳米正式以“688147”为股票代码在科创板挂牌上市。到当日10:40，微导纳米报于每股28.55元，较发行价上涨17.93%，市值超129.62亿元。

  材料显现，微导纳米建立于2015年12月25日，首要从事先进微、纳米级薄膜堆积设备的研制、出产和出售， 向下流客户供给先进薄膜堆积设备与相关改造服务及备品备件。

  4月20日，拓荆科技股份有限公司（688072）正式登陆上海证券买卖所科创板。

  作为高端半导体专用设备企业，拓荆科技一向秉持自主立异展开，凭仗一系列独创性的规划，完善的知识产权体系，以及到达世界先进水平的中心技能，公司已在世界商场展露头脚。拓荆科技表明，此次发行上市，是公司展开史上的一个重要里程碑，公司将凭仗本钱商场这一渠道，全面进步公司归纳实力和公司价值，完成出资者利益最大化。

  拓荆科技作为自主立异的半导体设备供货商，为进一步进步技能先进性，丰厚设备品种，拓宽技能运用范畴，进步商场占有率，开发台湾商场，公司拟凭仗本钱力气，征集资金用于高端半导体设备扩产、先进半导体设备的技能研制与改善，以及ALD设备研制与工业化等项目。

  依照展开规划，公司将展开配适10nm以下制程的PECVD产品研制；开发Thermal ALD 和大腔室PE ALD；一起晋级SACVD设备，研制12英寸满意28nm以下制程工艺需求的SACVD设备。

  华海清科的主经营务为CMP（化学机械抛光）设备，是现在国内仅有一家能够供给半导体12英寸CMP商业机型的厂商，其产品可掩盖8英寸（200mm）、12英寸（300mm）晶圆产线，已运用于中芯世界、长江存储、华虹集团、英特尔等国内外芯片厂商的产线中。陈述期内，华海清科营收增加较快，2019年-2021年总营收别离为2.11亿元、3.86亿元和8.05亿元。

  到招股书签署日，清华大学具有华海清科37.854%的股份，为公司实践操控人和直接控股股东。

  本次IPO，华海清科方案募资10亿元，将别离用于“高端半导体配备（化学机械抛光机）工业化项目”、“高端半导体配备研制项目”、“晶圆再生项目”和“弥补流动资金”4个项目，扣除发行费用后共征集了34.9亿元，超募近2.5倍。

  6月16日，深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”）首发请求上会。中科飞测揭露发行股票数量不超越80，000，000股，占发行后已发行股份总数份额不超越于25%。本次征集资金100，000.00万元，首要用于高端半导体质量操控设备工业化项目、研制中心晋级建设项目和弥补流动资金。中科飞测将登陆上交所科创板上市，保荐组织为国泰君安证券。

  据了解，中科飞测是一家国内抢先的高端半导体质量操控设备公司，自建立以来一直专心于检测和量测两大类集成电路专用设备的研制、出产和出售，产品首要包含无图形晶圆缺点检测设备系列、图形晶圆缺点检测设备系列、三维描摹量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已运用于国内28nm及以上制程的集成电路制作产线。跟着半导体制程技能快速展开，质量操控设备也向更小的工艺节点展开，研制难度逐渐进步。当时，世界巨子遍及能够掩盖 2Xnm 以下制程，先进产品现已运用在 7nm 以下制程。中科飞测产品尽管已能够掩盖 2Xnm 及以上制程，但关于运用于 2Xnm 以下制程的质量操控设备仍在研制或验证中，与科磊半导体、运用材料、立异科技等世界巨子在制程工艺的先进性方面尚存在较大距离。

  陈述期内，中科飞测经营收入别离为5,598.37万元、23,758.77万元、36,055.34万元，扣除非经常性损益后归归于母公司所有者的净利润别离为-7,238.70万元、-132.58万元、348.01万元，2021年度中科飞测初次完成微利。一起，陈述期内，中科飞测经营活动现金流量净额别离为-2,848.82万元、-8,672.18万元和-9,989.46万元，存在继续为负的状况。

  陈述期内，中科飞测产品已广泛运用在中芯世界、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内干流集成电路制作产线，打破在质量操控设备范畴世界设备厂商对国内商场的长时间独占局势。与此一起，其活跃承当了多个国家级、省级、市级要点专项研制使命，助力国内集成电路工业范畴要害产品和技能的攻关与打破。

  9月22日，联动科技（301369）成功登陆创业板，公司此次征集资金将用于投入半导体封装测验设备工业化扩产建设项目、半导体封装测验设备研制中心建设项目、营销服务网络建设项目、弥补营运资金等，项目落地后将进一步扩大半导体自动化测验体系的产能、进步公司研制实力和中心技能工业化才能并进步全球出售网络的掩盖。

  联动科技建立于1998年，专心于半导体职业后道封装测验范畴专用设备的研制、出产和出售，首要产品包含半导体自动化测验体系、激光打标设备及其他机电一体化设备，因为所在职业为技能密集型，公司自建立之初就将自主研制和科技立异作为企业展开的中心竞争力，将职业前沿的技能与立异思想相结合，力求不断完成半导体专用设备相关产品及技能的改造。

  联动科技作为国内少量能够供给全自主研制配套半导体自动化测验体系的设备供货商以及国内测验才能和测验功能模块掩盖面最广的半导体分立器材测验体系供货商之一，其近年来快速展开，招股书显现，联动科技现在在国内半导体分立器材测验体系商场占有率在20%以上，在模仿及数模混合集成电路测验范畴的商场开辟状况杰出，2019年-2021年经营收入别离为1.48亿元、2.02亿元、3.44亿元，完成净利润别离为3174.01万元、6076.28万元、1.28亿元，坚持较快增加。

  8月25日晚间，上交所官网显现，宁波恒普真空科技股份有限公司（以下简称“恒普科技”）科创板IPO停止。上交所表明，因为恒普科技撤回了其发行上市请求，保荐人方正证券承销保荐有限责任公司吊销保荐。依据《上海证券买卖所科创板股票发行上市审阅规矩》第六十七条规则，上交所停止其发行上市审阅。

  恒普曾方案募资3.52亿元，其间，1.82亿元用于宽禁带半导体及金属粉末材料用高端热工配备扩产项目，1亿元用于研制中心建设项目，7000万用于弥补流动资金。恒普是我国首要烧结炉制作厂商之一，其在金属粉末打针成形（metalInjectionMolding）用烧结炉有优势，恒普除MIM用烧结炉外，硬质合金、热处理、非氧化陶瓷、增材制作（AM）、晶体生长、半导体、实验室等职业用炉或设备，具有丰厚的规划及制作经历。

  11月11日，南京晶升配备股份有限公司（以下简称“”）发布初次揭露发行股票并在科创板上市招股说明书（注册稿）。

  本次冲刺科创板上市，晶升配备方案募资4.76亿元。其间，2.73亿元用于总部出产及研制中心建设项目，2.02亿元用于半导体晶体生长设备总装测验厂区建设项目，施行主体别离为晶升配备、晶升半导体。

  晶升配备是一家建立于2012年2月的半导体专用设备供货商，专业从事8-12英寸半导体级硅单晶炉、6-8英寸碳化硅、砷化镓等半导体材料长晶设备及工艺开发的企业。公司产品首要包含半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉和蓝宝石单晶炉等定制化的晶体生长设备。到招股书签署日，晶升配备享有已授权国内专利76项，其间发明专利27项。晶升配备表明，该公司承当了“江苏省科技项目—12英寸半导体硅单晶炉研制高端配备研制赶超工程项目—12英寸半导体硅单晶炉”等项目。

  矽电半导体设备（深圳）股份有限公司于12月13日更新上市请求审阅动态，该公司已回复第二轮审阅问询函，回复的问题首要有，关于创业板定位，关于客户相关方入股，关于房产租借等。

  据悉，矽电股份首要从事半导体专用设备的研制、出产和出售，专心于半导体探针测验技能范畴，系境内抢先的探针测验技能系列设备制作企业。探针测验技能首要运用于半导体制作晶圆检测（CP, Circuit Probing）环节，也运用于规划验证和制品测验（FT, Final Test）环节，是检测芯片性能与缺点，确保芯片测验准确性，进步芯片测验功率的要害技能。公司自主研制了多品种型运用探针测验技能的半导体设备，产品已广泛运用于集成电路、光电芯片、分立器材、第三代化合物半导体等半导体产品制作范畴。公司已成为我国大陆规划最大的探针台设备制作企业。

  矽电股份创业板上市方案发行不超越 1043.1819 万股，方案募资约5.56亿元。募投项目为“探针台研制及工业基地建设项目”、“分选机技能研制项目”、“营销服务网络晋级建设项目”、弥补流动资金。

  11月16日，据科创板上市委2022年第89次审议会议效果显现，深圳精智达技能股份有限公司（简称：精智达）科创板IPO成功过会。

  据了解，精智达是检测设备与体系解决方案供给商，首要从事新式显现器材检测设备的研制、出产和出售业务，产品广泛运用于以 AMOLED 为代表的新式显现器材制作中光学特性、显现缺点、电学特性等功能检测及校准修正，并逐渐向半导体存储器材测验设备范畴延伸展开。

  精智达此次征集资金6亿元，其间，1.98亿元用于新一代显现器材检测设备研制项目；1.62亿元用于新一代半导体存储器材测验设备研制项目；弥补流动资金2.40亿元。

  无锡卓海科技股份有限公司于12月12日更新上市请求审阅动态，该公司已回复第二轮审阅问询函，回复的问题首要有，关于创业板定位及中心技能，关于历史沿革，关于职工持股渠道等。

  卓海科技拟在深交所创业板上市募资5.47亿元，其间，1.04亿元用于半导体前道量检测设备扩产项目，1.84亿元用于研制中心建设项目，2.6亿元用于弥补流动资金。

  卓海科技建立于2009年，十多年来一直专心于半导体前道检测与量测设备范畴的研制、制作、修补、技能服务等，为客户供给检测与量测设备范畴全方位、全体化的解决方案，从前期的选型，到后期的设备保护、备件修理等等，能够满意客户对各种特别原料晶圆以及保证良率的量测需求。

  揭露材料显现，耐科配备建立于2005年10月，首要从事运用于塑料挤出成型及半导体封装范畴的智能制作配备的研制、出产和出售，为客户供给定制化的智能制作配备及体系解决方案。详细产品为塑料挤出成型模具、挤出成型设备及下流设备、半导体封装设备及模具。

  其间，主经营务之一的塑料挤出成型模具、挤出成型设备及下流设备以外销为主。耐科配备凭仗独特的规划理念、老练的工艺技能、过硬的产品质量、丰厚的调试经历和完善的售后服务，成功将塑料挤出成型模具、挤出成型设备及下流设备远销全球40多个国家，服务于德国Profine GmbH、德国Aluplast GmbH、美国 Eastern Wholesale Fence LLC、德国Rehau Group、比利时Deceuninck NV等很多全球塑料门窗著名品牌，出口规划接连多年位居我国同类产品首位。

  依据招股书，耐科配备本次拟发行2050万股，征集资金约7.76亿元，用于高端塑料型材挤出配备晋级扩产项目、半导体封装配备新建项目、先进封装设备研制中心项目以及弥补流动资金。

  11月10日，据我国证监会第十八届发审委2022年第126次会议审阅效果显现，天津金海通半导体设备股份有限公司（简称：金海通）主板IPO获通过。

  金海通是一家从事研制、出产并出售半导体芯片测验设备的高新技能企业，归于集成电路和高端配备制作工业，公司深耕集成电路测验分选机（Test handler）范畴，首要产品测验分选机销往我国大陆、我国台湾、欧美、东南亚等全球商场。

  现在，金海通的客户包含安靠、联合科技、嘉盛、南茂科技、长电科技、通富微电、益纳利、环旭电子、甬硅电子、欣铨科技等国内外闻名封测企业，博通、瑞萨科技等闻名IDM企业，兴唐通讯、澜起科技、艾为电子、英菲公司、芯科科技等国内外闻名芯片规划及信息通讯公司，以及国内闻名研讨院校和组织。

  此次IPO，金海通方案拟募资不超越7.46亿元，其间4.36亿元用于半导体测验设备智能制作及立异研制中心一期项目，值得注意的是，别的还有1.10亿元用于年产1000台半导体测验分选机机械零部件及组件项目。

  9月28日，大族激光旗下深圳市大族封测科技股份有限公司（以下简称“大族封测”）向深交所提交《初次揭露发行股票并在创业板上市招股说明书（申报稿）》获受理，拟在深交所创业板上市。

  大族封测原名大族光电，于2007年由大族数控和国冶星一起出资建立。建立之初，大族光电首要产品集中于LED封装环节的固晶机、焊线机、分光机及编带机，通过15年的展开，现已敞开国产焊线机在半导体和泛半导体商场的品类全代替和全面布局，设备保有量已过万台。

  公司本次揭露发行新股不超越4022.20万股，占本次发行后公司总股本的份额不低于10%，原股东不揭露出售老股，本次征集资金用于项目及拟投入的募资金额为：高速高精度焊线机扩产项目，拟运用征集资金金额约1.51亿元；研制中心扩建项目，拟运用征集资金金额约1.1亿元。

  2022年12月22日，创业板上市委举行了2022年第87次审议会议，广东汇成真空科技股份有限公司(简称“汇成真空”)，成功过会。

  汇成真空是一家以真空镀膜设备研制、出产、出售及其技能服务为主的真空运用解决方案供货商，首要产品或服务为真空镀膜设备以及配套的工艺服务支撑。通过多年技能展开和经历堆集，公司具有了完好的真空镀膜设备研制、制作才能以及镀膜工艺开发才能，可为不同职业客户供给定制化、专业化的真空镀膜设备及其工艺解决方案。2021年8月，公司被颁发第三批“专精特新‘小伟人’企业”称谓。

  公司此次欲征集2.35亿元，其间1亿元用于研制出产基地项目，7500万元用于线万用于弥补流动资金。

  2022年12月8日，北京京仪自动化配备技能股份有限公司(下称“京仪配备”)冲刺科创板IPO获上交所受理，本次拟募资9.06亿元。

  公司首要从事半导体专用设备的研制、出产和出售，主营产品包含半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(LocalScrubber)和晶圆传片设备(Sorter)。公司自建立以来，主经营务未产生严重改变。到2022年9月30日，京仪配备已获专利173项，其间发明专利56项。京仪配备在招股书中称，该公司是现在国内仅有一家完成先进制程半导体专用温控设备大规划装机运用的设备制作商。

  本次拟募资用于集成电路制作专用高精密操控配备研制出产(安徽)基地项目、弥补流动资金，首要募投项目别离是集成电路制作专用高精密操控配备研制出产（安徽）基地项目、弥补流动资金。

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